近期一台SPARC Spectral高端阴极发光探测系统在中科潞安研究院成功安装,配置于日立最新的SU8230扫描电镜。这是国内首次在日立冷场扫描电镜上安装SPARC系统。这台阴极发光系统针对客户关住的紫外发光波段进行了优化,配置了紫外光专用镜头和探测器。
2018年4月世界500强企业潞安集团与长治市政府、中国科学院半导体研究所三方共建的“中科潞安半导体产业技术研究院”签约仪式在长治举行。今年5月30日,山西省半导体产业联盟授牌仪式、中科潞安半导体技术研究院落成典礼暨中科潞安深紫外LED项目投产仪式在中科潞安紫外光电科技有限公司举行。SAPRC阴极发光系统将助力山西长治打造全球最大紫外LED产业集群。