EM-Tec FIB 竖直铜网(lift-out grids)是为FIB或者SEM/FIB系统的竖直铜网而量身定制的,可以更安全地将TEM的薄片样品固定在铜网上,然后更方便地用于SEM/FIB, TEM成像或者做EBSD分析。EM-Tec FIB铜网有各种不同规格,支持不同数量的铜网。产品外形经过优化,可以与各种标准的3mm TEM铜网兼容。所有的EM-Tec FIB lift-out grids 都有编号,来区分正反面和定位。

铜制 EM-Tec FIB竖直铜网Copper FIB liftout grid

铜制EM-Tec FIB竖直铜网夹具可以自持2个、3个或者5个铜网。铜网厚度是30-40µm,比普通的TEM铜网更坚固。EM-Tec FIB竖直铜网在制造时有一道独特的清洗工序,大幅减少污染,改善了TEM薄片样品的负载和图像效果。因为有这些特别的制造工艺,这些铜制的FIB lift-out grids在正面的边缘有个凹脊,使侧面边缘更光滑。

钼制EM-Tec FIB 竖直铜网

钼制的EM-Tec FIB lift-out grids比铜制的更坚固,并且可以用于当TEM样品观察会比铜干扰的情形。钼制FIB lift-out grids的厚度是45-55µm。有2、3、4座几种规格。因为材料和制作工艺的原因,钼制铜网的侧壁比铜制的要粗糙一些,因此需要使用FIB来试这些侧壁更光滑。

独家 光滑侧壁钼制EM-Tec FIB竖直铜网Smooth Molybdemun FIB lifout grid 2 Smooth Molybdemun FIB lifout grid

钼制FIB铜网的通病是侧壁粗糙不平,这个问题被我们最新的技术进步攻克了。由于这个最新的制造工艺,使用FIB来光滑的需求被压缩到最低,甚至几乎消除。这样就减少了珍贵的FIB时间和成本,并且显著改善了样品的固定效果。这种独家的钼制EM-Tec FIB lift-out grids有三个座,厚度为45-55µm。

FIB 样品座

EM-Tec FIB 铜网样品座用来夹住FIB铜网,使铜网上附着的FIB薄片样品更容易被粒子束处理。 FIB holder 1The FIB grid 这种样品台除了可以用来做FIB/SEM之外,也可以用于更安全地保存带有样品的FIB铜网。左图是这种样品座的一个实例,可以同时放多个铜网,可以跟标准的SEM样品托并排放置。所有的EM-Tec FIB铜网样品座都是用真空级铝经过精加工制成的。

FIB 样品托与样品座

为了使样品能尽可能靠近FIB/SEM系统的极靴,我们开发了低角度样品座。在标准Ø12.7mm针式样品托的基础上,有平台型、竖直型和各种倾斜角型。带有倾斜角的样品托可以使样品特定的平面对准FIB粒子束而无需转动样品台。使用真空级铝精加工制造,可以和标准的针式样品托完全兼容,易于储存和移动。
 
可用于FIB/SEM系统的预倾转样品座有助于使样品跟FIB的柱体完全垂直,在样品表面进行竖直的FIB抛光。这个预倾转角可以跟FIB柱体和电子束柱体之间的倾角互补。使用这种带角度的样品座,就不再需要倾转样品台。

FIB Stub 1

储存

EM-Tec FIB竖直铜网储存盒里有个防静电的黑色导电聚丙烯架,可以放置多达100个FIB竖直铜网(或者100个3.05毫米的TEM铜网)。这些铜网在架子上是水平放置的。透明的聚丙烯盖子便于寻找需要的铜网。内部分成10×10的格子,在盒子一个角带一个斜角,便于确认方位。底架和盖子用一对自锁扣或者单个插销连在一起。FIB storage